Below you will find pages that utilize the taxonomy term “(스핀” SRD (스핀 린스 드라이어) 적외선 램프 fab 라인 현장에서, 웨이퍼에 워터마크나 입자를 남기는 SRD는 단순히 외관 문제에 그치지 않고 수율 저하를 초래한다. 적외선 램프는 전체 사이클의 열원 역할을 하며, 열 예산에 맞는 건조와 필름에 스트레스를 주는 건조의 경계를 결정한다. 기술적으로 중요한 점... Read more...
SRD (스핀 린스 드라이어) 적외선 램프 fab 라인 현장에서, 웨이퍼에 워터마크나 입자를 남기는 SRD는 단순히 외관 문제에 그치지 않고 수율 저하를 초래한다. 적외선 램프는 전체 사이클의 열원 역할을 하며, 열 예산에 맞는 건조와 필름에 스트레스를 주는 건조의 경계를 결정한다. 기술적으로 중요한 점... Read more...
