쌍둥이형 금 도금 램프
골드 코팅된 트윈-튜브 램프를 사용하여 적절한 열 부하를 조절하는 방법
반도체 제조 공장에서는 열 분포가 조금만 잘못되어도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황입니다. 우리는 엄청난 양의 전력을 낭비하지 않으면서도 정확한 열 처리를 할 수 있는 최선의...
중파 석영 히터 튜브
제조 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 오븐의 온도가 0.5°C만 변해도 포토레지스트의 성질이 달라지고, 그로 인해 칩에 손상이 생길 수 있습니다. 중파 석영 히터는 바로 이러한 환경에서 사용됩니다. 여기서는 온도 제어가 단순한 설정이 아니라, 공정 자체의 일부...