웨이퍼 공정용 온도 센서

휘발성 화학물질 근처에서 적외선 열을 사용할 때 안전을 유지하는 방법 웨이퍼를 화학적으로 세척할 때는, 보통 열을 싫어하는 용매들을 다루게 됩니다. 이러한 용매들은 인화성이 있으며, 경우에 따라서는 폭발성도 있습니다. 고온의 적외선 램프를 그런 용매들과 함께 사용하는...