清洁后如何晾干晶圆

在晶圆制造过程中，刚经过清洗步骤的晶圆其实还远未完成加工。水渍、微粒以及干燥过程中的热应力都可能影响晶圆的良率，甚至在进入下一步加工之前就导致问题出现。真正的挑战并非仅仅去除水分，而是要能够精确控制晶圆表面的状态以及温度。 从技术层面来看，关键在于： 我们采用可控且快速的能量供应方式来进行干燥处理...