阻止颗粒物产生：让100级洁净室发挥最佳性能 如果你正在运营100级洁净室，那么你一定知道，哪怕有一颗微小的颗粒物存在，都会带来灾难性的后果。只要有一片碎屑进入系统，整个生产批次就会毁掉。 问题通常出在加热元件上。大多数普通红外线灯的密封部位都是用廉价金属或胶水制成的。当这些部件不断经历高温与低温...

在制造工厂中，光刻胶烘烤或晶圆干燥过程中产生的热量波动不仅会降低生产效率，还会导致关键尺寸发生变化，进而影响成品率。因此，需要一种能够快速加热、保持温度稳定且无杂质的加热方式——而且这种效果需要在多个生产批次中都保持一致。 我们的PECVD加热红外发射器采用短波能量来实现快速加热，使得整个工艺过程...