为什么在时间至关重要的情况下，红外线加热比强制空气加热更有效 如果你仍然依赖热空气循环来加热晶圆，那其实就是在等待而已。 想想强制空气加热的原理：先加热空气，然后再等待空气把晶圆加热。这个过程非常缓慢，而且还有令人厌烦的延迟。而红外线加热则省去了这个中间环节——它通过电磁辐射直接将能量传递到硅基片...

阻止颗粒物产生：让100级洁净室发挥最佳性能 如果你正在运营100级洁净室，那么你一定知道，哪怕有一颗微小的颗粒物存在，都会带来灾难性的后果。只要有一片碎屑进入系统，整个生产批次就会毁掉。 问题通常出在加热元件上。大多数普通红外线灯的密封部位都是用廉价金属或胶水制成的。当这些部件不断经历高温与低温...

别再浪费电能了：更有效的红外热能利用方法 说实话，在半导体制造过程中浪费电能简直就是浪费金钱。大多数人仍然使用普通的铝制反射器，但问题在于，这类反射器无法有效捕捉红外灯发出的全部光能。大量能量就这样白白流失掉了。这无疑是一种浪费。 因此，我们转而使用镀金反射器。这样，那些被浪费的能量就可以被重新反...