
装置や技術者を熱損傷から守ろう
バイオセンサーを製造する際には、基板上に大量の熱を加える必要があります。しかし問題は、その熱が他の場所にも行ってしまうことです。
一般的なIRランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。これでは大変です。半導体製造装置は巨大な放熱装置となり、結果として装置自体が変形したり、作業員が火傷を負ったりします。これはエネルギーの無駄遣いであり、安全上の問題でもあります。
私たちは、指向性のある赤外線技術を利用して、より良い方法を見つけ出しました。
熱を必要な場所に送る
熱が機械の本体に漏れ出るのを防ぐために、特定の反射器や放射体を使って、エネルギーを直接目的の場所に送り込みます。これは、単純な電球の代わりに懐中電灯を使うのと同じです。そうすることで、センサー材料が必要とする速い温度上昇が実現されますが、装置の他の部分は冷たく保たれます。
デメリット:出力と冷却のバランス
ただし、高ワット数の電力を指向性のあるビームとして送り込むと、焦点部分に非常に多くの熱が発生します。外側の壁面は安全ですが、ランプ自体の石英ガラスがダメージを受けます。高速な硬化処理のために高ワット数のランプを使用する場合は、適切な空気流を確保する必要があります。適切な換気が行われないと、ランプはすぐに壊れてしまいます。
実際の環境での利用
最良な点は、余分な熱が発生しないため、装置の外部が触っても涼しい状態に保たれることです。そのため、作業員は装置の近くで作業しても火傷の心配がありません。
これらのランプは、既存のコントローラーに簡単に接続できるように設計されています。また、空気や金属壁を温めるためのエネルギーを使わないため、HVACの負担も大幅に軽減されます。これにより、実験室全体の環境が安定し、それが理想的な状態です。