是非を言えば ウェーハ処理ラインが順調に動いているとき、最も避けたいのは部品の故障によって全てが停止してしまうことです。必要なのは、元の部品と同じ性能を持ちながら、高額なOEM製品ほどの価格ではない代替品です。 それこそが、私たちが開発した赤外線ランプの目的です。これらは、有名メーカーの半導体装置...

ファブフロアでは、フォトレジストのベイクプロファイルがわずか0.5度でもずれると、多数のウェハが影響を受ける。ソフトベイクとハードベイクは単なる「加熱工程」ではなく、ライン幅制御と歩留まりを決定する。ヒーターの性能が不足していると、クリティカルディメンションの不均一、エッジビードの発生、スクラップ...