fab 라인 현장에서, 웨이퍼에 워터마크나 입자를 남기는 SRD는 단순히 외관 문제에 그치지 않고 수율 저하를 초래한다. 적외선 램프는 전체 사이클의 열원 역할을 하며, 열 예산에 맞는 건조와 필름에 스트레스를 주는 건조의 경계를 결정한다.
기술적으로 중요한 점
SRD 적외선 램프는 공정 윈도우 기준으로 설계되며, 단순한 사양표에 의존하지 않는다. 단파장 NIR은 빠른 온도 상승을 가능하게 하며, 쿼츠 소재 봉투와 반사체 형상은 스핀 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일도를 ±0.1℃ 내로 유지한다. 출력은 소프트 베이크와 하드 베이크 후에 포토레지스트 품질을 보호할 만큼 안정적으로 유지되며, 24/7 작동하면서도 입자 발생 없이 클린룸 Class 1–100 환경에 적합하다. 반복성은 수천 시간 동안 최소한의 드리프트로 매 사이클 동일한 세트포인트에 도달하는 데 달려 있다.
SRD에서의 작동 원리
SRD 내에서 램프는 기판이나 폴리머 스택을 과열시키지 않고 린스를 증발시켜야 한다. 엄격한 열 제어가 건조 단계를 단축시키고, 크리티컬 디멘션 제어를 엄격하게 유지하며, 불량률을 낮춘다. 이를 통해 처리량 여유와 예측 가능한 유지보수 주기를 확보하면서, 효율적인 NIR 결합과 빠른 열 반응 덕분에 에너지 사용량도 감소한다. 리소그래피 라인에서는 재작업 배치 수가 줄고, 모든 웨이퍼에 대해 일관되고 직선형 열 이력이 확보된다.
실제 적용 시 고려사항
설치는 매우 정확해야 한다: 스핀 축에 대한 광학 정렬과 챔버와의 청결한 인터페이스가 필수다. 어긋날 경우, 핫스팟과 불균일 건조 현상이 발생한다. 램프는 지정된 전압과 냉각수 조건 내에서 가동되어야 하며, 챔버 형상은 반사체 프로필과 일치해야 한다. 짧은 번인 후, 전체 SRD 운전 사이클에 걸쳐 ±0.1℃ 균일도를 유지하기 위한 주기적인 출력 검사를 계획해야 한다.