スマートファブを壊れないように守るために
「デジタル化されたファブ」を構築するというのは、単に機械にセンサーを取り付けるだけでは済まされない。重要なのはハードウェアです。具体的には、極端な高温でも機能を失わずに耐えられる部品が必要です。
半導体の加工を行う際には、高効率の赤外線システムが不可欠です。しかし、問題点もあります。もし配線がその高温に耐えられなければ、得られるデータは意味を成しません。だからこそ、テフロン（PTFE）で絶縁された配線が不可欠なのです。
なぜテフロンを使うのか？
もし標準的なPVCやシリコーン製の配線を赤外線ランプの近くで使用しようとすると、すぐに壊れてしまいます。
しかしテフロンは違います。他のプラスチックが溶けてしまうような高温でも、強度を保ち、絶縁性能も維持します。現代のファブではスペースが限られているため、高密度の加熱要素が密集しています。テフロンを使えば、短絡の心配なしに電力を必要な場所に送ることができます。
さらに、クリーンルーム内にある腐食性の化学物質にも強いのです。つまり、テフロンは頼りになる素材なのです。
「スマート」な生産を実現するために
インダストリー4.0という言葉は魅力的に聞こえますが、実際には単なるデジタル化に過ぎません。
正確で信頼性の高いデータを得るためには、赤外線ランプに安定した電力供給が必要です。高効率のシステムを使えば、迅速に温度を上げたり下げたりできます。これが鍵です。つまり、炉が安定するのを何時間も待つ必要なく、ウェハの仕様を即座に変更できるのです。そうすれば、全体の作業効率が上がります。
選択の難しさ（完璧なものはない）
もちろん、テフロンも完璧な解決策ではありません。いくつかの欠点もあります。
例えば、テフロンは硬いので、シリコーンのように簡単に曲がりません。配線をきつく引っ張りすぎると、導体に負荷がかかってしまいます。
したがって、熱保護と加熱装置の物理的な配置のバランスをうまく取る必要があります。適切なストレス緩和処理を怠ると、機械的な疲労が生じ、24時間365日稼働する中でシステムの故障が起こってしまいます。