揮発性化学物質を加熱するときの安全対策 正直言って、半導体洗浄液を加熱するのは非常に危険な作業です。火災や爆発しやすい化学物質を扱う際、通常の赤外線ランプだけでは不十分であり、むしろ危険因子になり得ます。 そこで私たちは、単に加熱装置を作るだけでなく、それを保護シェルで覆います。そうすることで、危...

ランプの故障によって生産効率が低下するのを防ぎましょう。 大量生産を行う工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が停止するだけでなく、石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェハーの上に降り注ぎます。そうなると、ウェハーはすぐに廃棄処分され、長時間かけて設備を清掃しなければな...

なぜIR硬化装置には優れた反射器が必要なのか 半導体製造プロセスで「グリーン化」を図るということは、古くて非効率的な対流式オーブンを使わないようにすることを意味します。今では、ウェーハの表面に直接熱を与えるIR硬化方式が利用されています。しかし、問題は、ランプだけではエネルギーが無駄になってしまう...

熱に頼るのはやめよう：データを製造現場に活用する 新しい製造プラントを計画しているなら、おそらく熱に関して多くの時間を費やしてきたことでしょう。しかし、単に熱があるだけでは不十分です。その熱が実際に何をしているのかを知る必要があります。 ほとんどの従来の加熱要素は、単にエネルギーを供給するだけで、...

ゴールドコーティングされたツインチューブ型IRランプを使えば、適切な熱負荷を実現できます。半導体製造工場では、わずかな温度の狂いでもウェーハが壊れてしまいます。これは非常に重要な問題です。私たちの研究によると、ツインチューブ型でゴールドコーティングされたIRランプを使用することが、無駄なエネルギー...

化学的な洗浄を行う際に心配する必要はありません。 もし、揮発性溶剤が入った溶液を加熱するのであれば、通常のIRランプを使用するのは危険です。強い熱とオゾンの影響で、予期しない反応が起こったり、シール部分が本来よりも早く劣化してしまったりします。 だからこそ、私たちはオゾンを発生させないIRランプを...

冬が過ぎた後も、屋外用ヒーターを使い続けるための対策 もし赤外線ヒーターをペルゴラ内に設置するなら、それはまるで湿気や高温と戦うことになります。 問題は、一般的なヒーターはリビングルーム向けに作られており、屋外向けではないという点です。通常、導線が加熱素子と接続されている部分で故障します。私はこれ...

なぜ、私たちはバスルーム用のランプに「蒸気耐性試験」を施すのでしょうか？ 正直に言えば、バスルームという環境は電子機器にとって最悪の場所です。濃い蒸気、急激な温度変化、そして常に湿気が漂っています。 もし、これらのランプを乾燥した状態でテストして終わりにしてしまったら、顧客がお風呂に入っただけです...

半導体処理用トロリーにおける「オーブン効果」の防止 半導体処理用トロリーの内部を加熱しようとして、外側のケースが手を焼くほど熱くなってしまったことはありませんか？これは典型的なエンジニアリング上の問題です。 多くの人は対流式ヒーターを使いますが、それは間違いです。部品を温めるために空気や機械の壁自...

IRを利用したMEMSの乾燥処理 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、ウェーハの乾燥処理がいかに面倒かを知っているでしょう。わずかな水分やイオン汚染があっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。長年にわたり、対流式オーブンを使ってきましたが、正直なところ、ウェーハを乾燥させる...

なぜ、私たちは赤外線ヒーターを交換可能な構造にしたのか？ 赤外線ヒーターを購入するとき、単に熱エネルギーそのものの代金を支払っているわけではありません。5年後に部品が劣化し始めたときに発生する問題の対処費用も含まれています。 市販されているほとんどのヒーターは、一つの大きなユニットとして作られてい...

「ガラスの雨」を防ぎ、ウェーハをランプの故障から守る 高負荷の製造環境では、たった1つのランプが壊れるだけで、その日の作業全体が台無しになり、大量のウェーハも失われてしまいます。 石英管が壊れると、単に暗くなるだけではありません。実際には爆発してしまい、微細なガラス片やほこりが生産ラインに飛び散り...

ワットを無駄にしないで：IR熱を効率的に処理する方法 正直言って、半導体製造工場で電力を無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの人は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、この反射板ではIRランプの全ての波長の光をうまく捕捉できないということです。その結果、多くのエネルギーが...

もうバスルームで震えることはありません 朝一番に寒いバスルームに入るのは、誰だって嫌ですよね。通常は、部屋全体を温めるのを待たなければならず、時間がかかります。 しかし、私たちはもっと良い方法を見つけました。部屋全体を温める代わりに、短波赤外線ランプを使用するのです。これはまるで太陽のようなもので...

なぜ、古いタイプのバスルーム用ヒーターを捨てて、IP65等級の赤外線ヒーターに切り替えるのか？ 昔のバスルーム用ヒーターをご存知ですか？空気を少し温める程度の性能しかないものですよね。しかし今では、そうしたヒーターはほとんど使われなくなっています。多くの人々がIP65等級の赤外線ヒーターを選んでい...