独立型暖炉
パティオやリビングルームでの冬の夜は、まるで発電所を動かしているようではなく、快適に過ごせるものであるべきです。気温が下がると、次に浮かぶ疑問は、赤外線式の独立型暖炉が本当に電力代を節約できるかということです。その答えは、熱がどのように伝わるかにかかっています。
内部構造が重要 赤外線式の独立型暖...
PECVD加熱用赤外線放射体
ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に生じる熱的なドリフトは、単に生産性を低下させるだけでなく、ウェーハの寸法精度を乱し、歩留まりを悪化させます。そのため、迅速かつ安定した加熱が求められ、また、シフトごとにもその状態が維持される必要があります。
当社のPECVD用加熱用赤外線エミッ...
省エネ電気ヒーター
ヨーロッパの2,000軒の家庭で実際に使用してみてわかったことは、人々は、すぐに暖かくなり、騒音が少なく、電気代が上がらないような暖房器具を望んでいるということです。また、バルコニーやキッチン、風の通りやすい場所、多目的に使えるスペースなど、通常の対流式ヒーターでは十分な暖房が得られない場所でも効...
ファブIRランプ用クォーツスリーブ
製造現場において、フォトレジストの焼成処理は推奨されるものではなく、必須の工程です。わずか0.5℃の温度変動だけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、スリーブ内の微粒子一つでも、ウェーハを破壊してしまう可能性があります。当社の石英スリーブは、このような状況に対応するために設計されています。それに...
安価なウェーハ乾燥用ランプの電球
ファブの現場において、フォトレジストの挙動は、特にソフトベイクやハードベイクの際の熱的条件に大きく左右されます。ウェーハ全体での加熱が均一でなければ、端部にビードができたり、線幅が変わったりし、結果として歩留まりが低下します。ランプは単なる付属品ではなく、実際に熱制御が行われる重要な要素です。
こ...
タイルヒーターの下
冬になると、どんなに冷たい表面でも、快適さを得る機会が失われてしまうように感じられます。バスルームやキッチン、玄関などでは、冷たい床のせいで足がこわばり、中央の暖房が止まってからも部屋は長時間湿ったままです。そこで、私たちは床下にヒーターを設置しました。これにより、赤外線による暖かさが直接床に伝わ...
制御雰囲気焼成ランプ
製造現場において、温度の変動は、目に見えない形で生産性を低下させる要因です。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があれば、CDの位置がずれてしまいます。また、洗浄後に水分が残っていると、微細な橋渡し現象が起こります。パッケージングの場合も、均一でない硬化処理によって歪みや信頼性が低下...
中波クォーツヒーターチューブ
ファブの現場では、よく知られている通り、焼成温度が0.5℃変動するだけでフォトレジストの特性が変わり、たった一つの粒子がチップの機能を損なうことになります。中波石英ヒーター管は、まさにそのような環境で使用されます。ここでは熱制御は単なる設定値ではなく、プロセス自体なのです。
重要なのは何か 中波石...
タイマー付き電気ヒーター
夜が訪れ、空気が冷たくなるとき、単に暖かさだけでは不十分です。必要なのは、ちょうどその時に適切な温度の暖かさを提供してくれるものです。エネルギーを無駄にしないようにね。私たちは、このタイマー付き電気ヒーターを作りました。そうすれば、快適さが自然に得られます。
内部仕組みのポイント このヒーターは、...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
ウェーハ製造ラインにおいて、バイオセンサーの製造には、熱変動を許容する余地がありません。フォトレジストを加熱する際に0.5度程度の温度変動があっても、線幅が変わったり、感度が低下したりして、製造が中断されてしまいます。そのため、私たちは赤外線ランプを設計する際に、数時間にわたって安定した温度を維持...
ベビールーム用ヒーターは安全です
半開放型の商業空間では、快適さと電気代のバランスを取ることが常に課題となります。人々が絶えず行き来しているため、従来のヒーターは常にフル稼働し続け、無駄にエネルギーを消費してしまいます。私たちが開発した赤外線ヒーターは、そのような無駄をなくし、必要な場所で、必要なタイミングで暖かさを提供します。そ...
デスクトップ電気ヒーター
A long day at the desk does a number on your shoulders and joints. Traditional heaters warm the air, but that heat takes its time—and disappears just...
SRD スピンリンスドライヤー 赤外線ランプ
ファブフロア上で SRDがウェハーにウォーターマークやパーティクルを残すということは、見た目の問題に留まらず、歩留まりを悪化させる要因となる。赤外線ランプはサイクル全体の熱駆動要素であり、熱予算に合致した乾燥と、フィルムにストレスを与える乾燥の境界線を決める。
技術的に重要なポイント
SRDの赤外...
低雑音電気ヒーター
赤外線ヒーターを設置した後、なぜか一角だけが涼しく感じ、数歩離れた場所がまるで溶鉱炉のように熱いのか疑問に思うことがある。多くの場合、問題はヒーター自体ではなく、高さと角度にある。パティオ、屋根付きのポーチ内、あるいは屋内であっても、設置場所が放射熱を均一で静か、かつ実際に快適に感じさせる要因とな...
巾木ヒーター
軽量ラグジュアリーなリビングルームに足を踏み入れると、優れたデザインの静かな自信を感じることができる──クリーンなライン、温かみのある素材、落ち着いた雰囲気。部屋の雰囲気を損なうような大型のヒーターは避けたいものだ。この新しい赤外線ヒーターはその空間に溶け込み、目立たずに即時の暖かさを提供するよう...