効率の悪い使い方をやめよう：なぜ金蒸着反射鏡が重要なのか
ウェーハ製造において、エネルギーがシステム外に漏れ出してしまうのは、単純に設計上の欠陥です。もし標準的な炭素繊維製のIRランプを使用しているなら、その熱がシリコンに向かわず、逆方向に逃げてしまっていることに気づいているはずです。これは明らかな無駄遣いです。
私たちは、反射鏡に高純度の金を蒸着することでこの問題を解決しました。目的は簡単です——すべてのワット数がウェーハに届くようにすることです。
なぜ金なのか？
多くの人々はアルミニウム製の反射鏡を使用していますが、アルミニウムはエネルギーを吸収したり散乱させたりしやすい傾向があります。一方、金は異なります。赤外線に対して非常に効率的で、反射率は98％以上です。つまり、エネルギーの漏れを防ぐことができるのです。エネルギーが集中するため、ウェーハ表面により強力な熱が加わります。最良の点は、電源からの電力を増やすことなく、より多くのエネルギーをチップに供給できることです。
注意点（必ずあるものです）
炭素繊維製の要素は、急速に加熱され、制御も容易な点で優れています。しかし、そんなに多くのエネルギーを狭い空間に集中させると、温度が非常に上昇します。最大限の効果を得るためには、筐体の冷却にも注意が必要です。ランプのケースが過熱すると、要素が壊れたり、金の層が損傷したりする可能性があります。これはトレードオフですが、最初から適切な冷却装置を用意すれば問題ありません。
実際の使用法
これらのランプを既存のIR硬化装置や加熱装置に取り付けるだけです。すぐにサイクルタイムが短縮されます。また、金蒸着反射鏡によって、ウェーハ上の不均一な温度分布も解消されます。これにより、全てのウェーハが均一な品質になります。これらは、ランプの交換のために生産ラインを停止させるのが困難な、24時間稼働型の工場向けに作られています。
ちょっとしたヒント
これらのランプを接続する際は、PIDコントローラの調整に少し時間をかけてください。反射鏡の効率が高いため、システムの応答速度が通常よりも速くなります。