왜 금 코팅된 적외선 램프가 무연 반도체 제조에 최적인지
반도체 산업은 “친환경적이고 무연”인 생산 방식을 추구하고 있습니다. 하지만 문제는, 기존의 대류식 오븐들이 엄청난 에너지를 소비한다는 점입니다. 이러한 오븐들은 제품을 가열하기 전에 먼저 방 안의 공기를 따뜻하게 하는 데 많은 시간을 낭비합니다.
그래서 우리는 금 코팅된 적외선 램프를 사용하게 되었습니다. 이 램프들은 실내 전체를 가열하는 대신 직접적인 복사열을 활용합니다. 마치 방이 따뜻해질 때까지 기다리는 것과, 그냥 햇볕 아래에 서 있는 것의 차이와 같습니다. 기판을 직접 건조시킬 수 있습니다. 간단하죠.
금 코팅의 비밀
일반적인 석영 램프를 사용하면 넓은 스펙트럼의 열이 발생합니다. 반도체 제조 과정에서는 이것이 문제가 됩니다. 포토레지스트나 접착제를 손상시키지 않으면서도 특정 파장의 빛만을 사용해야 합니다.
그래서 석영에 얇은 금 층을 추가합니다. 이 층은 필터 역할을 해서 장파장의 복사열을 다시 필라멘트로 반사시키고, 에너지를 좁은 단파장 영역으로 집중시킵니다. 그 결과, 에너지가 목표물에 빠르고 강력하게 작용합니다. 그래서 치료 주기가 줄어들고 생산 속도도 높아집니다.
설치 시 주의할 사항
이러한 램프들은 좁은 공간에서 사용되도록 설계되었지만, 한 가지 문제가 있습니다. 에너지가 너무 집중되어 램프 표면이 빠르게 뜨거워집니다. 그냥 기존의 하우징에 넣어서 사용할 수는 없습니다. 반드시 냉각 시스템이 반사된 열을 처리할 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 손상될 수 있습니다.
지구를 위한 현명한 선택
무연 납땜은 열 프로파일을 정확하게 조절해야 하기 때문에 까다롭습니다. 하지만 적외선 램프는 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있어서 이 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 연소 가스나 이상한 화학 용매도 필요 없습니다.
클린룸의 탄소 배출을 줄이고 싶은 사람들에게 이 방법은 가장 현명한 선택일 것입니다. 낭비되는 열이 없으므로 웨이퍼당 소비되는 전력도 줄어듭니다. 오염물질도 발생하지 않습니다. 단지 광자가 기판에 닿아 작업이 완료될 뿐입니다.