用于晶圆的精密红外传感器
为什么在时间至关重要的情况下,红外线加热比强制空气加热更有效 如果你仍然依赖热空气循环来加热晶圆,那其实就是在等待而已。
想想强制空气加热的原理:先加热空气,然后再等待空气把晶圆加热。这个过程非常缓慢,而且还有令人厌烦的延迟。而红外线加热则省去了这个中间环节——它通过电磁辐射直接将能量传递到硅基片...
晶圆处理设备用温度传感器
在处理易挥发化学物质时使用红外线加热设备,如何确保安全呢?
当用化学试剂对晶圆进行清洗时,所使用的溶剂大多不耐高温,而且具有易燃性,有时甚至可能爆炸。将高温度的红外线灯放入这种环境中,无疑是在自找麻烦。
解决这个问题的关键并不在于让红外线灯变得更安全,而在于如何正确地保护它。
防止火花产生
大多数...
氢气传感器制造用加热器
正确实现氢传感器的热控制 制造氢传感器需要精确控制温度。由于所使用的加热元件体积极小,一旦控制不当,整批产品都会报废。因此,我们选择使用短波红外技术。当需要快速加热或冷却薄膜或基材时,红外技术是最佳选择。在智能工厂中,这些加热器能够发挥重要作用。最棒的是,热量可以直接传递到工件上,无需浪费能量来为...
智能传感器封装红外线技术
别再凭猜测来控制温度了:让数据来指导生产 如果你正在规划新建一座工厂,那么你肯定花了很多时间考虑如何控制温度问题。不过,光有温度控制是不够的。你还需要知道这些热量究竟起到了什么作用。
大多数传统的加热元件其实并没有真正的“感知能力”。它们只是将能量注入到系统中,然后寄希望于一切能按预期进行,却无法...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
利用红外线技术清洁MEMS传感器 如果你曾经从事过MEMS传感器的生产工作,那你就知道晶圆干燥这一环节有多麻烦。哪怕只有一个小水滴或少量离子污染,整批产品都报废了。多年来,我们一直依赖对流式烤箱来干燥晶圆,但说实话,为了干燥一个晶圆而加热整个炉腔,实在是极大的能源浪费。
因此,我们转而使用短波红外...
生物传感器制造用红外灯
在晶圆加工线上,生物传感器的制造过程不允许出现任何温度波动。在光刻胶烘烤过程中,哪怕只有半度的温度变化,都可能影响晶圆的线宽,进而影响传感器的灵敏度,甚至导致整个生产流程失败。因此,我们特意设计了红外灯,以确保温度始终稳定,持续数小时而不发生变化。
从技术层面来看,关键在于使用带有石英外壳的短波红...