なぜ、無鉛半導体製造には金コーティングされた赤外線ランプが適しているのか
半導体業界では、「グリーン」で無鉛の生産方式へと移行しようとしています。しかし問題は、従来の対流式オーブンはエネルギーを多く消費することです。実際、製品に触れる前に、まず部屋の空気を温めるのに多くの時間がかかってしまいます。
そのため、私たちは金コーティングされた赤外線ランプを採用しました。このランプは、部屋全体を温めるのではなく、直接放射熱を利用します。これは、部屋が暖まるのを待つのと、直接日光の下に立つのとの違いに似ています。つまり、基板上の物質を直接乾燥させるのです。非常にシンプルです。
金コーティングの効果
通常の石英ランプを使うと、広範囲にわたる熱が発生します。半導体の硬化処理においては、これは問題です。フォトレジストや接着剤を傷つけずに目的の波長の光を使う必要があります。
そこで、石英に薄い金の層を加えます。これにより、長波長の放射熱がフィラメントに戻され、エネルギーが短波長の領域に集中します。その結果、エネルギーが瞬時に目的の場所に届きます。そのため、硬化処理のサイクルが短縮され、処理効率も向上します。
設置時の注意点
これらのランプは狭いスペースでの使用を前提に設計されていますが、注意点があります。エネルギーが集中するため、ランプの表面が急速に高温になります。古いケースにそのままランプを入れても意味がありません。冷却システムが反射された熱に対応できるかどうかを確認する必要があります。そうでないと、ランプが壊れてしまいます。これは避けたいことです。
地球に優しい方法
無鉛はんだ付けは、正確な温度管理が必要です。一方、赤外線ランプは数秒以内に目標温度に到達するため、この問題を簡単に解決できます。燃焼ガスも、特殊な化学溶剤も不要です。
クリーンルームの二酸化炭素排出を減らしたい人にとって、これは最善の手段かもしれません。無駄な熱が発生しないため、ウェーハ1個あたりの電力消費量が削減されます。排出物もありません。光子が基板に当たって作業が行われるだけです。