ランプの故障によって生産効率が低下するのを防ぎましょう。 大量生産を行う工場では、ランプの故障は大きな問題です。単に機械が停止するだけでなく、石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェハーの上に降り注ぎます。そうなると、ウェハーはすぐに廃棄処分され、長時間かけて設備を清掃しなければな...

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は推奨されるものではなく、必須の工程です。わずか0.5℃の温度変動だけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、スリーブ内の微粒子一つでも、ウェーハを破壊してしまう可能性があります。当社の石英スリーブは、このような状況に対応するために設計されています。それに...